日本TEL东京电子Episode UL系列等离子蚀刻机

深圳市杉本贸易有限公司有售的日本TEL东京电子Episode UL系列等离子蚀刻机是进行干法刻蚀的设备，Episode UL系列等离子蚀刻机利用等离子体对材料表面进行选择性去除，在微电子、光电子及先进半导体制造等领域发挥着核心作用。

Episode UL系列等离子蚀刻机特点

采用矩形集群式设计的节省空间系统的先驱，可将处理腔室排列成两排水平相对的行。

可灵活容纳 4 至 12 个腔室，可以根据客户的晶圆厂布局最大限度地提高负载能力。

在最多 12 个腔室的配置下，相对集群式设计显著减少了每个腔室在洁净室和公用设施区域的占地面积。

传输系统和工艺模块配备了多个传感器和高速控制系统，可通过东京电子专有的智能工具技术驱动的大数据分析实现自主过程控制。

与前代产品相比，Episode UL 还拥有更大的维护空间，从而确保了更便捷的维护。深圳市杉本贸易有限公司有售日本TEL东京电子Episode UL系列等离子蚀刻机，想要获取Episode UL系列等离子蚀刻机报价与更多产品信息，可以杉本联系客服：13682376318前来咨询。